Система очищает аргонсодержащие газы, полученные из печей с вакуумной дегазацией, кремниевых моно-кристаллизаторов и т.д. и производит газообразный аргон высокой чистоты. Степень адсорбции аргона на цеолите меньше, чем у других газов – азота, монооксида углерода и диоксида углерода, содержащихся в сыром газе. За счет этого восстанавливается и очищается газообразный аргон высокой чистоты.
Особенности системы
1. Можно восстанавливать газообразный аргон высокой чистоты (макс. 99,99%).
2. Высокая эффективность восстановления от 70 до 80%
Применение
1. Сталелитейная промышленность.
Восстановление аргона из сырого газа:
- печей с вакуумной дегазацией.
- мощностей по непрерывному литью.
- печей-ковшей.
2. Полупроводниковая промышленность. Восстановление аргона из сырого газа кремниевого монокристаллизатора.
3. Прочее. Восстановление аргона из аргон-содержащих газов.
Характеристики:
Параметр | Значение |
Производительность | max. 1000 м3/ч. на единицу оборудования |
Чистота | max. 99,99% |
Давление | от 0,49 до 0,69 МПа (манометр.) |
Влажность | точка росы –70ºC |